yy.vip易游-卡尔蔡司SMT申请粒子显微镜系统中的倾斜度测量专利对待检查的样本的倾斜度和高度测量

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　　国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司SMT有限责任公司申请一项名为“粒子显微镜系统中的倾斜度测量”的专利，公开号CN121620810A，申请日期为2024年7月。

　　专利摘要显示，本发明的各种实例关于在粒子显微镜系统的情况下对待检查的样本的倾斜度和/或高度的测量，特别是具备产生聚焦离子束的附加柱的电子束显微镜。例如根据自准直原理使用光学检测系统。

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